智能机器人在集成电路制造中的协同作业主要体现在以下几个方面（）。

A.晶圆传输的精准协同
B.关键工艺步骤的精密控制
C.物料搬运的智能化升级
D.质量检测的全面覆盖
E.替代所有生产线工人

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